【奈米精度】与【速度】因应奈米新世代的检测需求

AE100 3D奈米扫描

1. 奈米深度3D检测

2. 高速／无接触量测

3. 表面形状／粗糙度分析

4. 非透明／透明材质皆适用

5. 非电子束／非雷射的安全量测

6. 低维护成本

奈米精度：追求原貌重现的追溯性量测与分析

奈米3D显微形貌快速呈现, 相移垂直扫描专利技术, 使深度分辨率达0.1 nm