【奈米精度】與【速度】因應奈米新世代的檢測需求

SWIM 3D奈米掃描

1. 奈米深度3D檢測

2. 高速／無接觸量測

3. 表面形狀／粗糙度分析

4. 非透明／透明材質皆適用

5. 非電子束／非雷射的安全量測

6. 低維護成本

奈米精度：追求原貌重現的追溯性量測與分析

奈米3D顯微形貌快速呈現, 相移垂直掃描專利技術, 使深度解析度達0.1 nm

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